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Conception d'un microcapteur de pression, Humidité et température en technologie MEMS.
(Université Mouloud Mammeri, 2011-03)
Les microsystèmes (MEMS –Micro Eléctro-Mécanical –System) sont des composants miniaturisés réunissant des fonctions électroniques,mécaniques et optiques sur la même puce. Les technologies microsystèmes conjuguent les ...